Pura Plus在線微量濕度異動變送器尺寸和指標的需求變化而特殊設計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器,多路安裝在半導體工廠內通向生產線的氣體供應zui末端,用來監測超純惰性氣體的應用。工廠內氣體系統分布復雜,涉及到很多分支、節點和使用點。因此在常規的濕度監測點后,會由于微量的泄漏、低效的系統設計、元件故障或過程出錯等等原因導致濕氣滲入,影響下游使用。而安裝在分布系統中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應指示,在 20 ppb 濕氣級別下 1 ppb 的異動的響應時間小于1 分鐘。 亮點- 對 ppb 級別濕度異動的快速響應
- 低濕 ppb 級別的靈敏度 (<1 ppb)
- 多點測量安裝的全新概念
- 維護要求低
- 信號燈式的狀態指示
- 可設置警告和報警點
- Modbus 網絡兼容
- 遠程控制界面的多通道軟件
- (UHP) 超純氣體的管線檢測
| | 技術指標 | 響應速度 | <1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應時間 | 濕度量程 | 1 ppb to 20,000 ppm | 壓力范圍 | 0 to 10 bar | 耐壓等級 | 300 bar | 泄漏測試 | 0-9 mbar l/s | 工作流量范圍 | 1 ~ 10 l/min | 工作溫度 | 5 ~ 40°C | 存儲溫度 | 30 ~ 70°C | 電源 | 20 ~ 28 V DC | 功耗 | 5 W zui大 | 外部保險絲等級 | 500 mA 快熔型 | 數據輸出 | Modbus ASCII 兩線 RS485 | 警告和報警輸出 | 2 路 | zui大電壓 | 40 V DC | zui大電流 | 100 mA | 氣體接觸的材質 | 外殼材質 | 不銹鋼 AISI 316L, 內表面電拋光 <10 Ra | 傳感器結構 | 氧化鋁電解質, 上層鍍金保護, 下層鋁層 | 內部容積 | 4.4cm³ | 重量 | 450g | 氣路接口 | 1/4" m VCR | 電氣接口 | 9 - 針 D - 型 m 接口 | 電磁兼容性 | EN50081-2 和 EN50082-2 |
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